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工業磷酸廠家帶你了解電子級磷酸檢測小知識

信息來源:www.hustzone.com | 發布時間:2020年09月02日

工業磷酸廠家帶你了解電子級磷酸檢測小知識,高隆磷化工專業生產五氧化二磷多聚磷酸等產品,電子級磷酸屬于電子化學品檢測種類之一。在電子工業中,尤其是超大規模集成電路、大屏幕液晶顯示屏等微電子工業領域,電子用磷酸可以用于清洗和蝕刻等工藝的加工??梢哉f說磷酸的純度、質量、指標等都直接關系到電子生產企業的產品成品率、電性能、可靠性,或者是屏幕最后的質量表現。

一、電子級磷酸用途分析
1、用于基片涂膠前的清洗
2、用于光刻過程中的蝕刻及后去膠;
3、用于硅片本身制作過程中的清洗及絕緣膜蝕刻、半導體膜蝕刻、 導體膜蝕刻、 有機材料蝕刻等
二、電子級磷酸制備工藝
1、用高純磷制備電子級磷酸的工藝
2、用高純三氯化磷制備電子級磷酸的工藝
3、用三氯氧磷制備電子級磷酸的工藝

三、電子級磷酸提純工藝
化學沉淀法
有機溶劑萃取法
溶劑沉淀法
結晶法(冷凍結晶法、熔融結晶法)
濃縮凈化法
離子交換法
電滲析法

四、電子級磷酸質量等級
E1為普通電子級磷酸
E2為高純電子級磷酸

五、電子級磷酸檢測標準
GB/T 28159-2011 電子級磷酸

六、電子級磷酸檢測項目
1、磷酸質量分數檢測
2、易氧化物質量分數檢測
3、陰離子檢測項目:硝酸鹽含量、硫酸鹽含量、氯化物含量
4、金屬離子元素檢測項目:鋁、硼、銻、砷、鋇、鎘、鈣、鈷、銅、鎵、金、鐵、鉛、鋰、鎂、錳、家、鎳、銀、鈉、錫、鍶、鈦、鋅
5、顆粒的測定
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